Сканирующий микроскоп Apreo

Характеристики электронной пушки

• Высокий вакуум с оптимальной рабочей дистанцией, иммерсионный режим
- 0,8 нм при 30кВ (STEM) 
- 0,9 нм при 15 кВ 
- 1,0 нм при 1 кВ 
- 1,2 нм при 500 В 
- 2,5 нм при 100 В 
• Высокий вакуум с оптимальной рабочей дистанцией, режим без поля 
- 0,8 нм при 30 кВ (STEM) 
- 1,0 нм при 15 кВ 
- 1,3 нм при 1 кВ 
• В режиме низкого вакуума, оптимальной рабочей дистанцией, режим без поля 
- 1,2 нм при 15 кВ 
- 1,8 нм при 3 кВ

Предметный столик

Вцентрический гониометрический высокоточный моторизованный по 5 осям предметный столик 
Перемещение в плоскости XY: 110 x 110 мм 
Воспроизводимость результатов: < 3,0 мкм (при наклоне 0°) 
Моторизованное перемещение по оси Z: 65 мм 
Поворот: n x 360° 
Наклон: -15° / +90° 
Максимальная высота образца: Расстояние 85 мм до точки Вцентрика 
Максимальный вес образца: 500 г при любом положении предметного столика (до 2 кг при наклоне 0°) 
Максимальный размер образца: Ø122 мм при полном вращении (для образцов большего размера вращение ограничено) 
• Стандартно поставляется уникальный стол-держатель для различных задач, на который можно установить до 18 стандартных столиков образцов (диам. 12 мм), 3 скошенных стойки, образцы поперечных сечений и 2 наклонных многостоечных держателей* (38° и 90°), при этом не требуется инструментов для установки образцов. 
• Каждый из наклонных многостоечных держателей может использоваться с 6 S/TEM сетками 
• Держатель печатных плат и другие держатели по заказу

Рабочая камера

• Внутренняя ширина: 340 мм 
• Аналитическая рабочая дистанция: 10 мм 
• Установка до трех детекторов EDS, два из которых расположены друг напротив друга (под углом 180°) 
• Копланарное расположенные (в одной плоскости) EDS/EBSD и осью наклона столика

Детекторы

Apreo может регистрировать до четырех сигналов одновременно из любой комбинации из имеющихся детекторов или сегментов детектора. 

• Тройная система детектирования (внутрилинзовая и внутри колонны) 
- Т1 – нижний внутрилинзовый детектор, разделенный на сегменты 
-  Т2 – верхний внутрилинзовый детектор 
-  T3 – внутриколонный детектор 
• ETD – детектор вторичных электронов Верхарта-Торнли 
• DBS – выдвижной сегментированный детектор ООЭ 
• Детектор вторичных электронов для низкого вакуума 
• DBS-GAD монтирующийся на линзу газовый аналитический детектор ООЭ 
• STEM 3+ - выдвижной сегментированный детектор для просвечивающей микроскопии (BS, DF, HADF, HAADF) 
• Инфракрасная камера для контроля положения образца 
• Nav-Cam+ цветная цифровая камера для простой навигации по образцу

Вакуумная система

• Безмасляная вакуумная система 
• 1х220 л/с TMP (турбомолекулярный насос) 
• 1хPVP (форвакуумный насос) 
• 2 ионно-геттерных насоса 
• Уровень вакуума в камере (высокий) < 6,3e–6 мбар (после 72 часов откачки) 
• Время откачки: ≤3,5 мин 
• Режим низкого вакуума (опционально) 
• Давление в камере при низком вакууме от 10 до 500 Па 
• Каждый из наклонных многостоечных держателей может использоваться с 6 S/TEM сетками 
• Держатель печатных плат и другие держатели по заказу

Дополнительные аналитические возможности

• Система очистки образца/камеры: система криогенной чистки FEI Cryocleaner, интегрированная система плазменной чистки FEI 
• Анализ: EDS, EBSD, WDS, CL, Raman 
• Система быстрой загрузки образца QuickLoader 
• Навигация: Навигационная камера, корреляционная навигация, программное обеспечение для сшивки MAPS 
Газовая инжекционная система (GIS) FEI: до 2 устройств (другие опции могут ограничить количество доступных систем GIS) для осаждения следующих материалов: 
- Платина 
- Вольфрам 
- Углерод 
• Манипуляторы 
• Криостолик 
• Электрическое зондирование 
• Электростатическая блокировка пучка

Управление системой

•  64-битный графический пользовательский интерфейс на базе Windows 7, клавиатура, оптическая мышь 
• 24-дюймовый ЖК-монитор, WUXGA 1920 x 1200 (второй монитор – опция 
• Настраиваемый графический интерфейс с возможностью выбора до 4-х одновременно активных окон 
• Регистрация изображения 
• Встроенная навигация 
• Программное обеспечение для анализа изображения 
• Функция отмены и повтора (после отмены) действия 
• Гид пользователя для простых операций/приложений 
• Джойстик (опционально) 
• Многофункциональное контрольное устройство управления (опционально)

Получение изображений

• Время получения изображения 0,025 – 25000 мкс/пикс. 
• Размер до 6144 х 4096 пикс. 
• Тип файла: TIFF (8, 16, 24 bit), BMP, JPEG 
• Однокадровое изображение или изображение в четырёх квадрантах 
• Технология сканирования SmartSCAN (до 256 интегрированных изображений в одном) 
• DCFI (компенсация дрейфа)

Доступные программные функции

• Система для автоматизированного получения больших изображений и корреляционной работы MAPS 
• iFast для дополнительно автоматизации 
• Программное обеспечение для архивации данных в сети 
• Программное обеспечение для анализа изображений

Системные опции

• Стандартно поставляется держатель для различных задач, уникальный тем, что устанавливается непосредственно на столик, и на него можно установить до 18 стандартных столиков образцов (диам. 12 мм), 3 скошенных стойки, образцы поперечных сечений и 2 наклонных многостоечных держателей* (38° и 90°) 
• Каждый из наклонных многостоечных держателей может использоваться с 6 S/TEM сетками 
• Держатель печатных плат и другие держатели по заказу*

Требования по установке

• Электропитание: 
- напряжение 100 - 240 В (+6%, –10%) 
-  частота 50 или 60 Гц (+/–1 %) 
- Потребляемая мощность: < 3,0 кВА в базовой комплектации 
• Сопротивление заземления: < 0,1 Ом 
• Условия эксплуатации: 
-  температура (20±3) °C 
-  относительная влажность не более 80% (без конденсата) 
-  уровень паразитных ЭМП с переменным  напряжением: < 40 нТ асинхронные поля, < 100 нТ синхронные поля 
• Габариты дверного проёма: 0,9 м (ширина) х 1,9 м (высота) 
• Вес микроскопа с колонной: 980 кг 
• Рекомендуется чистый азот для напуска в систему 
• Сжатый воздух (4 – 6) бар. Должен быть чистый, сухой и не содержать масла.
• Система охлаждения - наличие 
• Уровень шума (требуется обследование места установки) 
• Вибрация пола (требуется обследование места установки, поскольку должен учитываться спектр частот вибрации) 
• Виброизоляционный стол поставляется по доп. заказу